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PL
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晶圆检测机
PCB在线外观检测(VRS)
名称
参数
检测速度:
≤120m/min
检测幅宽:
700mm-1550mm
分辨率:
0.024mm/pix(横向); 0.048mm/pulse(纵向)
尺寸检测精度:
±0.1mm
缺陷检测精度:
0.5mm*0.5mm
检测单面条数:
≤4条
过杀率/漏杀率:
错判:0%,误判:≤0.1% GRR≤10%(标准公差为±0.6mm)
缺陷和涂膜的灰度偏差需满足≥30
设备外形尺寸:
兼容设备厂家
检测内容:宽度、对齐度、缺陷
1)涂层宽度:
湿料、干料(全幅宽、AB面涂宽、留白宽度、陶瓷宽度)
2)对齐度:
在A面干料和B面湿料的工位测量AB面的对齐度。
3)缺陷检测:
污物、表面破损、划痕、条痕、气泡、漏金属。
适用工艺:
挤压、转移、凹版
1)涂布工艺:
连续涂布、条纹涂布、间歇涂布及间歇条纹涂布。
2)产品工艺:
兼容AT9及凹板
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